高温アニールAlN上AlGaNチャネルHEMTのAlGaN膜厚依存性
高温アニールAlN上AlGaNチャネルHEMTのAlGaN膜厚依存性
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AlN 上高温退火 AlGaN 沟道 HEMT 的 AlGaN 膜厚度依赖性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三宅秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
森隆一;上杉謙次郎;窪谷茂幸;正直花奈子;三宅秀人
