Submicron displacement measurements of MEMS using optical microphotographs in aqueous media: Enhancement using color image processing
Submicron displacement measurements of MEMS using optical microphotographs in aqueous media: Enhancement using color image processing
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使用水介质中的光学显微照片测量 MEMS 的亚微米位移:使用彩色图像处理进行增强
DOI:
10.1557/opl.2014.58
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发表时间:
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期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Hubbard
中科院分区:
文献类型:
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作者:
S. Warnat;H. King;R. Schwartz;M. Kujath;T. Hubbard