液体金属FIB ~3次元ナノ造形技術,デバイス研究への利用~

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液态金属FIB - 3D纳米加工技术,用于器件研究 -

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
米谷玲皇
米谷玲皇
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Akira Ohtomo;Takuto Soma;Kohei Yoshimatsu;吉松 公平;吉松 公平;Kohei Yoshimatsu;Kohei Yoshimatsu;Kohei Yoshimatsu;米谷玲皇

文献摘要

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