高橋郁, 鶴田, 椛田, 山本, 鈴木: "半導体ウェハー上の不良パターンのクラスタリングによる分類と要因分析"品質管理学会第66回研究発表会. 77-80 (2001)

高橋郁, 鶴田, 椛田, 山本, 鈴木: "半導体ウェハー上の不良パターンのクラスタリングによる分類と要因分析"品質管理学会第66回研究発表会. 77-80 (2001)
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Ik. Takahashi、Tsuruta、Kabata、Yamamoto、Suzuki:“通过半导体晶圆上缺陷图案的聚类进行分类和因子分析”,质量控制协会第 66 届研究会议(2001 年)。

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