小川智哉他: "Detection of very small defects and tiny inclusions just under mirror polished of silicon wefers by inside total reflection" Jounal of Applied Phsics. 78. 2892-2893 (1995)
小川智哉他: "Detection of very small defects and tiny inclusions just under mirror polished of silicon wefers by inside total reflection" Jounal of Applied Phsics. 78. 2892-2893 (1995)
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Tomoya Okawa 等人：“通过内部全反射检测硅晶圆镜面抛光下的非常小的缺陷和微小夹杂物”应用物理学杂志 78. 2892-2893 (1995)。
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