Plasma etching with metallic masking for micro-patterning onto DLC coated Mold-dies
Plasma etching with metallic masking for micro-patterning onto DLC coated Mold-dies
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使用金属掩模进行等离子蚀刻，在 DLC 涂层模具上进行微图案化
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E.E.Yunata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Aizawa;N.T.Redationo;E.E.Yunata
