PECVD法により作製したDLC膜の光学定数の基板パルスバイアス周波数, Duty比及び電力依存性
PECVD法により作製したDLC膜の光学定数の基板パルスバイアス周波数, Duty比及び電力依存性
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PECVD 法制备 DLC 薄膜的基底脉冲偏置频率、占空比和光学常数与功率的关系
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
沈 用球
中科院分区：
文献类型：
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作者：
近藤 裕佑;筧 芳治;佐藤 和郎;松村 直巳;沈 用球
