T. Iida et al.: "Measurements of the depth profile of the refractive indices in oxide films on SIC by spectroscopic ellipsometry"Japanese Journal of Applied Physics. 41 (2A). 800-804 (2002)
T. Iida et al.: "Measurements of the depth profile of the refractive indices in oxide films on SIC by spectroscopic ellipsometry"Japanese Journal of Applied Physics. 41 (2A). 800-804 (2002)
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T. Iida 等人:“通过光谱椭圆光度法测量 SIC 上氧化膜中折射率的深度分布”,《日本应用物理学杂志》。
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