Surface-micromachined electrostatic microrelay
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DOI：
10.1016/s0924-4247(97)01703-2
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发表时间：
1998-04
影响因子：
4.6
通讯作者：
Ignaz Schiele;Jörg Huber;B. Hillerich;F. Kozlowski
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ignaz Schiele;Jörg Huber;B. Hillerich;F. Kozlowski
