H.Sugai et al: "Electrostatic Coupling of Antenna and the Shielding Effect in Inductive RF Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33. 2189-2193 (1994)
H.Sugai et al: "Electrostatic Coupling of Antenna and the Shielding Effect in Inductive RF Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33. 2189-2193 (1994)
复制标题
H.Sugai 等人：“天线静电耦合和感应射频等离子体中的屏蔽效应”Jpn.J.Appl.Phys.33。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
