針状電極ECFジェットを用いたマイクロアクチュエータ(製作と特性評価)
針状電極ECFジェットを用いたマイクロアクチュエータ(製作と特性評価)
复制标题
使用针状电极 ECF 喷射的微执行器（制造和表征）
DOI：
--
复制
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
横田眞一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
R.Reuss;R.Shirakashi;F.Ehrhart;H.Zimmermann;U.Zimmermann et al.;横田眞一
