Decoupling Control of High-Precision Positioning Stages by using a Center of Rotation and Center of Gravity Hybrid-Driven Method with Additional Actuators
Decoupling Control of High-Precision Positioning Stages by using a Center of Rotation and Center of Gravity Hybrid-Driven Method with Additional Actuators
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采用带有附加执行器的旋转中心和重心混合驱动方法对高精度定位台进行解耦控制
DOI：
10.1541/ieejias.139.480
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发表时间：
2019
影响因子：
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通讯作者：
鈴木一弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大西亘;藤本博志;坂田晃一;鈴木一弘
