関口貴子, 小池淳一: "The effects of internal variables on interfacial debond strength on Cu/Ta/SiO_2/Si multilayers by nanoscratch test"MRS Symp.Proc.. (in press). (2004)
関口貴子, 小池淳一: "The effects of internal variables on interfacial debond strength on Cu/Ta/SiO_2/Si multilayers by nanoscratch test"MRS Symp.Proc.. (in press). (2004)
复制标题
Takako Sekiguchi、Junichi Koike：“通过纳米划痕测试，内部变量对 Cu/Ta/SiO_2/Si 多层膜界面脱粘强度的影响”MRS Symp.Proc.（出版中）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
