T.Ichiki: "Precise chrome etching in downstream chlorine plasmas with electron depletion throuogh negative ion production"J.Electrochem.Soc.. 147. 4289-4293 (2000)
T.Ichiki: "Precise chrome etching in downstream chlorine plasmas with electron depletion throuogh negative ion production"J.Electrochem.Soc.. 147. 4289-4293 (2000)
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T.Ichiki：“通过负离子产生在下游氯等离子体中进行电子耗尽的精确铬蚀刻”J.Electrochem.Soc.. 147. 4289-4293 (2000)
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