超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの蒸着
超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの蒸着
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使用超临界二氧化碳气相沉积聚酰亚胺
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
滝嶌繁樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
和佐田温彦;小田明日香;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
