シリコン-酸化膜-空隙-酸化膜-シリコン構造による液体センシング
シリコン-酸化膜-空隙-酸化膜-シリコン構造による液体センシング
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使用硅氧化膜-空隙-氧化膜-硅结构进行液体传感
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森田瑞穂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神谷泰次;山田隆太;打越純一;有馬健太;森田瑞穂
