Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System
Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System
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通过磁控管增强反应离子蚀刻系统在聚四氟乙烯 (PTFE) 和全氟烷氧基 (PFA) 块板上形成微结构
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Minoru SEKI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirofumi NABESAWA;Takeshi HITOBO;Toyohisa ASAJI;Takashi ABE;Minoru SEKI
