Scaled Silicon Nanoelectromechanical Systems (Keynote Lecture)
Scaled Silicon Nanoelectromechanical Systems (Keynote Lecture)
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规模化硅纳米机电系统（主题演讲）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Mizuta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
葛屋;三木;モラル;水野;田部;水田;葛屋陽平;Hiroshi Mizuta;H. Mizuta;Hiroshi Mizuta
