Model calculation of dynamic mass-balance changes in reactive sputtering

Model calculation of dynamic mass-balance changes in reactive sputtering
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反应溅射动态质量平衡变化的模型计算

DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
The proceedings of the 12nd International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, Kyoto, Japan, July 10-12, 2013
影响因子：
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通讯作者：
Eiji Kusano
Eiji Kusano
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Mune-aki Sakamoto;Eiji Kusano;Eiji Kusano

文献摘要

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