Origin of plasma-induced surface roughening and ripple formation during plasma etching
Origin of plasma-induced surface roughening and ripple formation during plasma etching
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等离子蚀刻过程中等离子引起的表面粗糙和波纹形成的根源
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and K. Eriguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ono;N. Nakazaki;H. Tsuda;Y. Takao;and K. Eriguchi
