On-Machine Optical Surface Profile Measuring System for Nano-Machining-猫眼课题宝

DOI：

10.20965/ijat.2011.p0369

发表时间：

2011-05

期刊：

Int. J. Autom. Technol.

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

其他

文献类型：

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作者：

H. Sawano;Motohiro Takahashi;Hayato Yoshioka;H. Shinno;K. Mitsui