A wafer scale active pixel CMOS image sensor for generic x-ray radiology
A wafer scale active pixel CMOS image sensor for generic x-ray radiology
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用于通用 X 射线放射学的晶圆级有源像素 CMOS 图像传感器
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Scheffer
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Scheffer
本文介绍了一种为通用 X 射线成像系统开发的 CMOS 有源像素图像传感器，该传感器使用标准 CMOS 技术和具有低噪声和高灵敏度的有源像素架构。该图像传感器采用标准 0.35 μm 技术，使用 8" 晶圆制造。传感器的分辨率为 3360x3348 像素，每个像素为 40x40 μm2。传感器的对角线尺寸略高于 190 mm。本文讨论了已开发的传感器的平面图、拼接图和光电性能。
This paper describes a CMOS Active Pixel Image Sensor developed for generic X-ray imaging systems using standard CMOS technology and an active pixel architecture featuring low noise and a high sensitivity. The image sensor has been manufactured in a standard 0.35 μm technology using 8" wafers. The resolution of the sensor is 3360x3348 pixels of 40x40 μm2 each. The diagonal of the sensor measures little over 190 mm. The paper discusses the floor planning, stitching diagram, and the electro-optical performance of the sensor that has been developed.