Effects of nitridation on SiC/SiO$_2$ structures studied by hard X-ray photoelectron spectroscopy
Effects of nitridation on SiC/SiO$_2$ structures studied by hard X-ray photoelectron spectroscopy
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硬X射线光电子能谱研究氮化对SiC/SiO$_2$结构的影响
DOI：
10.48550/arxiv.1912.06592
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Berens J
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Berens J
