High aspect ration nano-scale CFx structures fabricated by DEEP-RIE
High aspect ration nano-scale CFx structures fabricated by DEEP-RIE
复制标题
DEEP-RIE 制备的高纵横比纳米级 CFx 结构
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Shoji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Arakawa;H.Kusakawa;S.Shoji
