中島 隆介: "赤外エバネッセント光によるシリコンウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第1報)-理論的・実験的検討-"精密工学会誌. 69・9. 1291-1295 (2003)
中島 隆介: "赤外エバネッセント光によるシリコンウエハ加工表面層欠陥検出に関する研究(第1報)-理論的・実験的検討-"精密工学会誌. 69・9. 1291-1295 (2003)
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Ryusuke Nakajima：“利用红外倏逝光检测硅晶片加工表面层缺陷的研究（第1次报告）-理论和实验研究-”日本精密工程学会杂志69・9（2003年）。
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