トランジスタの閾値およびゲート酸化膜厚検知手法の検討
トランジスタの閾値およびゲート酸化膜厚検知手法の検討
复制标题
晶体管阈值及栅极氧化膜厚度检测方法研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池田裕樹，櫻井拓，牧野博之，布村泰浩，吉村勉，岩出秀平，松田吉雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田島咲季;史又華;戸川望;柳澤政生;池田裕樹，櫻井拓，牧野博之，布村泰浩，吉村勉，岩出秀平，松田吉雄
