Photosensitive PZT film and fine patterning by sol-gel processes

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光敏 PZT 薄膜和溶胶-凝胶工艺精细图案化

DOI：
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发表时间：
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期刊：
Materials Science and Engineering
影响因子：
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通讯作者：
Chen Zhiming
Chen Zhiming
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
Zhang Weihua;Zhao Gaoyang;Chen Zhiming

文献摘要

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