マイクロ波生成リモートプラズマ支援ALD法によるSi基板上へのHfSixOy薄膜の低温形成
マイクロ波生成リモートプラズマ支援ALD法によるSi基板上へのHfSixOy薄膜の低温形成
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微波远程等离子体辅助ALD法在Si衬底上低温形成HfSixOy薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福田幸夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石崎博基;飯田真正;王谷洋平;山本千綾;山中淳二;佐藤哲也;福田幸夫
