Active Control of the Oχidization of a Silicon Cantilever for the Characterization ofSilicon・based Semiconductors
Active Control of the Oχidization of a Silicon Cantilever for the Characterization ofSilicon・based Semiconductors
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主动控制硅悬臂梁的氧化以表征硅基半导体
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Kawata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Atsushi Ono;K.Masui;Y.Saito;T.Sakata;A.Taguchi;M.Motohashi;T.Ichmiura;H.Ishitobi;A.Tarun;N.Hayazawa;P.Verma;Y.Inouye;S.Kawata
