Isaku Kanno, Endo, Hidetoshi Kotera: "Low-Voltage actuator of RF-MEMS Switch using Piezoelectirc PZT thin films"Micro System Technologies. 529-531 (2003)
Isaku Kanno, Endo, Hidetoshi Kotera: "Low-Voltage actuator of RF-MEMS Switch using Piezoelectirc PZT thin films"Micro System Technologies. 529-531 (2003)
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Isaku Kanno、Endo、Hidetoshi Kotera：“使用压电 PZT 薄膜的 RF-MEMS 开关的低压执行器”Micro System Technologies。
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