Growth of aluminum oxide on, in imprinted resin patterns by an atomic layer deposition technique
Growth of aluminum oxide on, in imprinted resin patterns by an atomic layer deposition technique
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通过原子层沉积技术在压印树脂图案上生长氧化铝
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaru Nakagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nobuya Hiroshiba;Shiho Kuroyanagi;Masaru Nakagawa
