槌谷和義, 仲町英治, 他: "マイクロアクチュエータ用PZT薄膜創製技術の開発"日本機械学会論文集(A編). 69・687. 1601-1605 (2003)

槌谷和義, 仲町英治, 他: "マイクロアクチュエータ用PZT薄膜創製技術の開発"日本機械学会論文集(A編). 69・687. 1601-1605 (2003)
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Kazuyoshi Tsuchiya、Eiji Nakamachi 等人:“微致动器 PZT 薄膜制造技术的开发”日本机械工程学会会刊(编辑 A)1601-1605(2003 年)。

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