Cluster size effects of gas cluster ion beams on surface modification

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气体团簇离子束对表面改性的团簇尺寸效应

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc. of 16th Int. Conf. on Ion Implantation Technology Marseille, France, 2006
影响因子：
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通讯作者：
I.Yamada
I.Yamada
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
N.Toyoda;I.Yamada

文献摘要

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