Orientation imaging of macro-sized polysilicon grains on wafers using spatially resolved acoustic spectroscopy
Orientation imaging of macro-sized polysilicon grains on wafers using spatially resolved acoustic spectroscopy
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使用空间分辨声波谱对晶圆上的大尺寸多晶硅晶粒进行定向成像
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Clark
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rikesh Patel;Wenqi Li;Richard J. Smith;S. Sharples;M. Clark
