Surface figuring and measurement methods with spatial resolution close to 0.1 mm for x-ray mirror fabrication

Surface figuring and measurement methods with spatial resolution close to 0.1 mm for x-ray mirror fabrication
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用于 X 射线镜制造的空间分辨率接近 0.1 毫米的表面造型和测量方法

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Proceeding of SPIE, Int.Soc.Opt.Eng 5921
影响因子:
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通讯作者:
H.Mimura
H.Mimura
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
R.Matsumoto;M.Nakagaki;H.Mimura

文献摘要

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