Fabrication and characterization of 1.1 GHz blade nano-electromechanical resonator
Fabrication and characterization of 1.1 GHz blade nano-electromechanical resonator
复制标题
1.1 GHz 叶片纳米机电谐振器的制造和表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
L.Buchaillot
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V.Agache;B.Legrand;D.Collard;H.Fujita;L.Buchaillot
