M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, et al.: "Non-photolithographic pattern transfer for fabrication arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching"Proceedings of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference. 562-565 (2003)
M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, et al.: "Non-photolithographic pattern transfer for fabrication arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching"Proceedings of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference. 562-565 (2003)
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M.Shikida、M.Odagaki、N.Todoroki、M.Ando 等人：“通过化学各向异性蚀刻制造阵列 3D 微结构的非光刻图案转移”IEEE 微机电系统会议论文集。
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