Measurement of Mechanical Characteristics Using Micro Devices with Force Sensing
Measurement of Mechanical Characteristics Using Micro Devices with Force Sensing
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使用具有力传感功能的微型器件测量机械特性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kuniaki Dohda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tohru Sasaki;Yudai Fujiwara;Kaoru Tachikawa. Takuya Wakashima;Kenji Terabayashi;Mitsuru Jindai;Kuniaki Dohda
