福澤 剛: "パルスHe-SiH_4高周波放電で作製したSi微粒子の透過型電子顕微鏡による観察" 平成6年度電気関係学会九州支部連合大会講演論文集. 47. 126 (1994)
福澤 剛: "パルスHe-SiH_4高周波放電で作製したSi微粒子の透過型電子顕微鏡による観察" 平成6年度電気関係学会九州支部連合大会講演論文集. 47. 126 (1994)
复制标题
Tsuyoshi Fukuzawa：“使用透射电子显微镜观察脉冲 He-SiH_4 高频放电产生的 Si 细颗粒”1994 年电气相关学会九州分会会议记录 47. 126 (1994)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
