Deposition and ion irradiation multi-process coating of diamond-like carbon films using bipolar type plasma-based ion implantation
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双极型等离子体离子注入沉积和离子辐照多工艺镀覆类金刚石碳膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Azuma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nakao;H. Yanai;T.Kimura;K. Azuma
