Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Yasuhumi TATSUNO: "Study on Nano-inprocess Measurement of Silicon Wafer Surface Defects (5th Report) -Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects-" Proceedings of 1996 JSPE general meeting in autumn. 42
Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA,Yasuhumi TATSUNO: "Study on Nano-inprocess Measurement of Silicon Wafer Surface Defects (5th Report) -Discrimination of Silicon Wafer Surface Defects-" Proceedings of 1996 JSPE general meeting in autumn. 42
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Satoru TAKAHASHI、Takashi MIYOSHI、Yasuhiro TAKAYA、Yasuhumi TATSUNO：“硅片表面缺陷的纳米过程测量研究（第5次报告）-硅片表面缺陷的判别-”1996年JSPE秋季会员大会论文集。
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