Study on nano carbon particle by Hydroxy [60] fullerene for Sapphire CMP
Study on nano carbon particle by Hydroxy [60] fullerene for Sapphire CMP
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羟基[60]富勒烯纳米碳粒子用于蓝宝石CMP的研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuta Todoroki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Inui Masatomo;Naganuma Sinnosuke;Oki Nao;Umezu Nobuyuki;中野 健;高島孝太,櫻田陽,原圭祐,河野大輔,田浦祐生,辻尚史,磯部浩已;石黒 敬悟，Nguyen Quang Minh，大塚 雄市;Yuta Todoroki
