On-chip Magnetic 3D Soft Microactuators Made by Gray-scale Lithography
On-chip Magnetic 3D Soft Microactuators Made by Gray-scale Lithography
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采用灰度光刻技术制造的片上磁性 3D 软微执行器
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoko Yamanishi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Minoru SASAKI;Fuminori BONO;Kazuhiro HANE;Yoko Yamanishi
