Effects and possible roles of atmospheric molecules in ultra-micro cutting of monocrystalline silicon
Effects and possible roles of atmospheric molecules in ultra-micro cutting of monocrystalline silicon
复制标题
大气分子对单晶硅超微切割的影响及可能的作用
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Takezawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.J.Liu;T.Inamura;N.Takezawa
