局所自己発熱によるMEMSチップ上高温生成パイロポリマーに関する研究
局所自己発熱によるMEMSチップ上高温生成パイロポリマーに関する研究
复制标题
MEMS芯片局部自加热高温产生热聚合物的研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小西聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡本貫二;中圭介;小西聡
