銅極細配線における粒成長を阻害する不純物効果のフェーズフィールドシミュレーション
銅極細配線における粒成長を阻害する不純物効果のフェーズフィールドシミュレーション
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抑制超细铜互连中晶粒生长的杂质效应的相场模拟
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
篠嶋 妥，大貫 仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤菜々子;渡辺宏紀;稲葉知大;尾花望;宮野泰征;野村暢彦;篠嶋 妥，大貫 仁
