K.Shibahara: "Ultra-Shallow Junction Formation with Sb Implantation"IEICE Transaction on Electronics. E85-C(in printing). (2002)
K.Shibahara: "Ultra-Shallow Junction Formation with Sb Implantation"IEICE Transaction on Electronics. E85-C(in printing). (2002)
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K.Shibahara：“Sb 注入的超浅结形成”IEICE 电子交易。
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