大気圧プラズマを用いたダイヤモンド膜のエッチング
大気圧プラズマを用いたダイヤモンド膜のエッチング
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使用常压等离子体蚀刻金刚石膜
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹内貞雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
土屋晃海;竹内貞雄
