Silicon carbonitride nanolayers - Synthesis and chemical characterization

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DOI：
10.1016/j.tsf.2012.04.082
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发表时间：
2012-07
期刊：
Thin Solid Films
影响因子：
2.1
通讯作者：
P. Hoffmann;N. Fainer;O. Baake;M. Kosinova;Y. Rumyantsev;V. Trunova;A. Klein;B. Pollakowski;B. Beckhoff;W. Ensinger
P. Hoffmann;N. Fainer;O. Baake;M. Kosinova;Y. Rumyantsev;V. Trunova;A. Klein;B. Pollakowski;B. Beckhoff;W. Ensinger
中科院分区：
材料科学3区
文献类型：
--
作者：
P. Hoffmann;N. Fainer;O. Baake;M. Kosinova;Y. Rumyantsev;V. Trunova;A. Klein;B. Pollakowski;B. Beckhoff;W. Ensinger

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