K.Tachibana: "Detection of H Atoms in RF-Discharge CH_4,SiH_4 and H_2 Plasmas by Two-Photon Absorption Laser Induced Fluorescence (TALIF) Spectroscopy" Proceedings of the 10th Symposium on Plasma Processing (応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会). 49-52 (1993)
K.Tachibana: "Detection of H Atoms in RF-Discharge CH_4,SiH_4 and H_2 Plasmas by Two-Photon Absorption Laser Induced Fluorescence (TALIF) Spectroscopy" Proceedings of the 10th Symposium on Plasma Processing (応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会). 49-52 (1993)
复制标题
K. Tachibana:“通过双光子吸收激光诱导荧光 (TALIF) 光谱检测 RF 放电 CH_4、SiH_4 和 H_2 等离子体中的 H 原子”第 10 届等离子体加工研讨会论文集(日本应用物理学会等离子体电子分委会) 49-52(1993)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: